2.17. ПЛАЗМОХИМИЯ изучает химические процессы в низкотемпературной плазме. Низкотемпературной принято считать плазму с температурой 103-105 К и степенью ионизации 10-6-10-1, получаемую в электродуговых, высокочастотных и СВЧ газовых разрядах, в ударных трубах, установках адиабатического сжатия и др. способами. В плазмохимии важно разделение низкотемпературной плазмы на квазиравновесную, которая существует при давлениях порядка атмосферного и выше и характеризуется общей для всех частиц температурой, и неравновесную, которая получается при давлениях менее 30 кПа и в которой температура свободных электронов значительно превышает температуру тяжелых частиц (молекул, ионов). Это разделение связано с тем, что кинетические закономерности квазиравновесных плазмохимических процессов определяются только высокой температурой взаимодействующих частиц, тогда как специфика неравновесных процессов обусловле-на главным образом большим вкладом химических реакций, инициируемых «горячими» электронами.
Примером плазмохимической технологии служат: синтез ацетилена из природного газа

(электродуговая печь, 1600 оС)
молекулярная эпитаксия – наращивание из молекулярных пучков, получаемых нагреванием кремниевых заготовок (основа микропроцессоров, см. рис.) электронным лучом в условиях глубокого вакуума (10-9-10-10 Па).

Московский физико-технический институт, каф. физики и химии плазмы (МТФИ-плазма).

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
Баковец В.В. Плазменно-электролитическая анодная обработка металлов / В.В. Баковец, О.В. Поляков, И.П. Долговесова – Новосибирск: Наука, 1991. – 168 с.
Мак-Таггарт Ф. Плазмохимические реакции в электрических разрядах. М.: Атомиздат, 1972. – 256 с.
МТФИ-плазма – http://bio.fizteh.ru/departments/physchemplasm/physchemplasm.html
Полак Л.С., Теоретическая и прикладная плазмохимия / Л.С. Полак, А.А. Овсянников, Д.И. Словецкий – М.: Наука, 1975. – 304 с.
Химия плазмы / Под ред. Л.С. Полака и Ю.А. Лебедева – Новосибирск: Наука, 1991.

	Home
	Write Me